Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу: Учебник для вузов
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов.
Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Έτος:
2023
Εκδότης:
ЭБС Лань
Γλώσσα:
russian
ISBN 10:
5507454795
ISBN 13:
9785507454792
Αρχείο:
PDF, 6.27 MB
IPFS:
,
russian, 2023